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平面條形陰極
平面條形陰極
産品特點
1.高靶材利用率>40%,大大降低靶材費用
2.寬靶面刻蝕,減少靶面打火
3.磁鋼不泡水,長陰極壽命
4.間接水冷,更換靶材無需破壞水密封
5.多種磁路選擇(高利用率、高磁場、非平衡磁場),滿足不同應用需求
6.適用電源:DC/DC-PULSE/HIPIMS/MF/RF
7.優化陰極冷卻系統,最高使用溫度可達到450℃
8.陰極冷卻主動報警裝置,降低陰極燒毀風險
9.可開發定制,提供陰極2D/3D圖紙,方便設計人員選型
性能測試


 
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