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考夫曼離子源
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産品特點:
雙钼柵變孔結構:提高有效工作區
高電、氣效率:提高速率
全數字電源:可存儲3組參數,一鍵操作
維護便捷:無需整體拆卸
適用:輔助、預清洗、刻蝕、濺射
輔助/預清洗:6cm, 12cm, 16cm
濺射/刻蝕:15cm,20cm,30cm

20厘米刻蝕用考夫曼離子源參數,其他規格請聯系我們

 
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