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美國ANGSTROM磁控濺射陰極

1988年成立于美國匹茲堡,專業研發和生産磁控陰極ASI

Ø全球領先的磁控陰極供應商
Ø30年的磁控陰極生産研發經驗
Ø全球唯一覆蓋全部規格磁控陰極的企業
Ø全球領先的陰極研發能力,尤其擅長磁場的優化
ØIn-house生産模式,全面制造解決方案,滿足客戶多樣化需求
Ø交貨前嚴格的測試,保證設備的高品質
Ø整體解決方案提供商

圓形陰極: 
標准尺寸1英寸-16英寸,不同磁場,配件供選擇;
條形陰極:
寬度38-305mm,長度可達4.7米,不同磁場,配件供選擇;
圓柱旋轉陰極:
靶材利用率可達85%以上,無需狗骨頭靶材;
兩種磁場調節方式,均勻性輕松調節到+/-2%;
更小的磁場發散角,更多靶材沉積到基片上。
 
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