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平面圓形陰極

平面圓形陰極
産品特點
1.磁路模塊化設計,方便不同應用隨時更換
2.多種磁場強度選擇:200GS/400GS/800GS
3.2-8英寸標准化陰極尺寸,KF接口
4.磁場不泡水,長陰極壽命
5.間接水冷,更換靶材無需破水密封
6.適用電源:DC/DC-PULSE/HIPIMS/RF
7.擋板,靶基距調節等多項可選項


性能測試


 
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